Silicio nitrido (Si3N4) kristalų struktūros yra trijų rūšių, tai yra trys α, β ir γ fazės. Dvi fazės α ir β yra labiausiai paplitusios Si3N4 formos ir gali būti paruoštos esant normaliam slėgiui. Γ fazė gali būti sintetinta tik esant aukštam slėgiui ir aukštai temperatūrai, o jos kietumas gali siekti 35GPa.
Šešiakampis β-Si3N4 gali būti tiesiogiai derinamas su elementiniu siliciu ir azotu, kad gautų silicio nitridą esant 1300–1400 ℃:
3 Si (s) {{16}} 2 N2 (g) → Si3N4 (s) taip pat gali būti sintetinami su diimidu SiCl4 (l) + 6 NH3 (g) → Si (NH) 2 (s) + 4 NH4Cl (s) ) esant 0 ℃, esant 3 Si (NH) 2 (s) → Si3N4 (s) + N2 (g) H 3 H2 (g) esant 1000 ℃ arba karboterminės redukcijos reakcijos metu esant 1400–1450 ℃ azoto ： 3 SiO2 (s) + 6 C (s) + 2 N2 (g) → Si3N4 (s) + 6 CO (g)
